Выход озона определяется конструкцией озонатора, диэлектрической проницаемостью диэлектрика, зазором между электродами, расходом кислорода или воздуха, напряжением и частотой электрического тока, условиями охлаждения и влажностью воздуха.
Растворимость озона в воде достаточно низкая, поэтому для эффективного растворения устанавливаются специальные устройства, увеличивающие время контакта и площадь его поверхности, или обеспечивающие интенсивное перемешивание озона с водой. Как правило, озоновоздушная смесь диспергируется и подаётся в воду в виде мелких пузырьков. Мелкие размеры пузырьков (0,1—1,0 мм) способствуют увеличению поверхности контакта озона с обрабатываемой водой, что повышает скорость растворения озона. Для интенсификации процесса диспергирования озона в воде используют эжекторы (эмульгаторы) и разнообразные механические: барботеры, турбинные смесители, водоструйные насосы, пульсаторы и эжекторы.
Важным технологическим этапом является обеспечение одинакового времени контакта озоновоздушой смеси с водой, а также её равномерное введение по всему объёму обрабатываемой воды. Время обработки воды озоном для осуществления химических реакций окисления составляет несколько минут. Чтобы удалить из воды избыточное количество непрореагировавшего озона и других побочных продуктов его взаимодействия с органическими соединениями, на выходе системы устанавливают деструктор озона и сорбционный фильтр из активированного угля для каталитического окисления озона и побочных продуктов реакции.